本實(shí)用新型公開了一種微型電子集成電路測試流片用性能檢測裝置,包括檢測單元,所述檢測單元由支撐腳、支撐腿、工作板、檢測主體、檢測臺(tái)組成,所述工作板的下方設(shè)置有除塵單元,所述除塵單元由伸縮軟管、風(fēng)機(jī)、吹氣腔體組成,所述工作板的下方設(shè)置有控制單元,所述控制單元由通道、卡座、連接架、動(dòng)力齒輪、齒條、滑槽、動(dòng)力電機(jī)、滑塊組成。本實(shí)用新型中,設(shè)置了除塵單元、控制單元,除塵單元可以將檢測臺(tái)表面上的灰塵進(jìn)行清理,清理效果良好,保證檢測的正常進(jìn)行、結(jié)果誤差較小,使用方便,控制單元可以控制吹氣腔體移動(dòng),可以對檢測臺(tái)的各個(gè)部位進(jìn)行除塵,除塵的比較全面,同時(shí),也可以定點(diǎn)除塵,使用靈活方便。
聲明:
“一種微型電子集成電路測試流片用性能檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)