一種MOCVD制備ZnO透明導(dǎo)電薄膜的方法,包括準備、清洗、光學(xué)檢測、CVD鍍膜、產(chǎn)品性能檢測、成品包裝6個步驟,其中CVD鍍膜的方法為在CVD鍍膜室中,以二甲基鋅和氧氣為源通過噴頭噴到加熱的玻璃片上,二甲基鋅氧化生成ZnO。在鍍膜過程中,還可以以三甲基鎵或
氧化鋁作為摻雜源,獲得鎵摻雜ZnO(GZO)或鋁摻雜ZnO(AZO)。對光學(xué)檢測不合格的玻璃,可以重新清洗;對產(chǎn)品性能檢測不合格的產(chǎn)品,可以送入裝有稀鹽酸的腐蝕池中,腐蝕掉玻璃表面的ZnO從而將玻璃重新回收利用。本發(fā)明充分考慮了ZnO透明導(dǎo)電薄膜工業(yè)生產(chǎn)中的各個環(huán)節(jié),具有產(chǎn)品性能優(yōu)異、易于實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化等優(yōu)點。
聲明:
“MOCVD制備ZnO透明導(dǎo)電薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)