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金屬銅表面蝕刻工藝及自動化生產(chǎn)線

1038   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 06:31:28
本發(fā)明涉及蝕刻技術領域，提供一種金屬銅表面蝕刻工藝，其步驟如下：表面微蝕處理；圖案涂覆；蝕刻；表面防腐處理。其中，利用微蝕清洗劑在以下清潔條件下對銅表面進行處理，清洗溫度為20～30℃，噴淋壓力為1.0～1.5kg/cm2，清洗時間為30～60s；圖案涂覆的步驟包括壓膜、冷卻暫存、曝光、撕膜、顯影、液洗以及干燥；蝕刻包括一次蝕刻、補償蝕刻、清洗、蓬松以及退膜；利用表面處理藥劑在以下防腐條件下對銅表面進行處理，表面處理藥劑的濃度為20％～100％，使用溫度為20～30℃，噴淋壓力為1.0～1.5kg/cm2，清洗時間為30～60s。本發(fā)明提供的金屬銅表面蝕刻工藝，可避免金屬銅提前氧化腐蝕而出現(xiàn)殘次品，從而提高成品的良率。
聲明：
“金屬銅表面蝕刻工藝及自動化生產(chǎn)線” 該技術專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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