本發(fā)明公開了一種月塵測量儀粘性石英晶體(SQCM)探頭涂膜方法。使用本發(fā)明能夠在石英晶體上涂覆真空油脂,且涂膜后形成的粘性石英晶體能夠用于月塵測量。本發(fā)明首先采用石油醚對石英晶體進(jìn)行清洗,并挑選頻率在9990000Hz~9995000Hz內(nèi)的石英晶體進(jìn)行涂膜;采用Apiezion?H脂作為粘性石英晶體的覆膜進(jìn)行涂膜,并在涂膜過程中監(jiān)測石英晶體的頻率,當(dāng)涂抹前后的石英晶體的頻差為2MHz左右,涂膜完成,檢測石英晶體的Q值、諧振阻抗和動態(tài)電容,若滿足技術(shù)指標(biāo),則該石英晶體可以用于粘性石英晶體探頭上。
聲明:
“一種月塵測量儀粘性石英晶體探頭涂膜方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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