材料表面改性領(lǐng)域中,用計算機控制的等離子體源離子滲氮工藝及設(shè)備,包括升溫、保溫、降溫及離子注滲工藝過程和供電系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)與主真空室所構(gòu)成的設(shè)備,特征是采用自加熱式加熱工件,通過計算機自動控制正負脈沖對的重復(fù)頻率、各自的占空比與幅值來實現(xiàn)對工件溫度的控制,使之按設(shè)定的滲氮溫度曲線變化,優(yōu)點:簡化設(shè)備,降低能耗40%,過程完全自動化,工藝穩(wěn)定,不打火,不起弧,不引起工件退火,安全可靠,重復(fù)性好。
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“用計算機控制的等離子體源離子滲氮工藝及設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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