一種適用于金屬絲鍵合的trench肖特基
芯片及其加工工藝。涉及一種肖特基芯片及其加工工藝,尤其涉及一種適用于金屬絲鍵合的肖特基芯片及其加工工藝。提供了一種在芯片區(qū)域內(nèi)增加平面鍵合區(qū)域,避免溝槽損傷的適用于金屬絲鍵合的trench肖特基芯片及其加工工藝。所述trench區(qū)域上還設(shè)有平面鍵合區(qū),所述平面鍵合區(qū)為光滑平面,所述平面鍵合區(qū)上敷設(shè)表面金屬。所述trench區(qū)域的邊緣和平面鍵合區(qū)的邊緣分別設(shè)有保護(hù)環(huán)。所述溝槽的內(nèi)壁經(jīng)過氧化處理,形成二氧化硅層。本發(fā)明便于用戶使用,也便于生產(chǎn)者區(qū)分鍵合線路走向,使芯片連接更加直觀,便于查找故障點。
聲明:
“一種適用于金屬絲鍵合的trench肖特基芯片及其加工工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)