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基于SF6綜合分析儀的多氣體檢測(cè)氣室及其檢測(cè)方法

1083   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:34:00
本發(fā)明公開了一種基于SF6綜合分析儀的多氣體檢測(cè)氣室及其檢測(cè)方法,包括氣室體,氣室體上設(shè)置有分解產(chǎn)物檢測(cè)的第一通路、SF6純度檢測(cè)的第二通路和水分含量檢測(cè)的第三通路,第一通路依次連接有第一流量調(diào)節(jié)閥、氫氣電化學(xué)傳感器、第一流量計(jì)、第一SO2電化學(xué)傳感器、第一H2S電化學(xué)傳感器和第一CO電化學(xué)傳感器,第二通路依次連接有第二流量調(diào)節(jié)閥、SF6傳感器和第二流量計(jì),第三通道依次連接有第三流量調(diào)節(jié)閥、H2O傳感器和第三流量計(jì),第一流量調(diào)節(jié)閥、第二流量調(diào)節(jié)閥和第三流量調(diào)節(jié)閥進(jìn)口并聯(lián)。本發(fā)明檢測(cè)效率大大提高,檢測(cè)誤差降低,檢測(cè)精度大大提高,檢測(cè)數(shù)據(jù)更可靠,三路通路一體化設(shè)置,大大提高了設(shè)備的集成化,更加節(jié)省設(shè)備占用空間,結(jié)構(gòu)更緊湊。
聲明:
“基于SF6綜合分析儀的多氣體檢測(cè)氣室及其檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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