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化學(xué)成份檢測微納光學(xué)傳感器及其制作與檢測方法

1114   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:35:58
提供一種化學(xué)成分檢測微納光學(xué)傳感器及其制作與測量方法,包括硅基片,硅基片設(shè)置有光源、檢測腔、光接收器,硅基片在光源與檢測腔之間開設(shè)第一溝槽,在檢測腔與光接收器之間開設(shè)第二溝槽,第一溝槽、第二溝槽內(nèi)充滿經(jīng)液體灌注,固化后用作使光線定向傳輸?shù)墓獠▽?dǎo)材料,固化后的光波導(dǎo)材料在檢測腔的兩側(cè)分別形成呈凸起圓弧形的聚光壁,從光源依次經(jīng)第一溝槽內(nèi)的光波導(dǎo)材料、檢測腔、第二溝槽內(nèi)的光波導(dǎo)材料至光接收器形成光通路;光源所發(fā)出光的波長正是只有所要檢測的化學(xué)成分所能吸收的光的波長,光接收器是能接收的光并能轉(zhuǎn)換成電參數(shù)值的光接收器;使用前先進行標定,獲得標定關(guān)系后,就可以在現(xiàn)場測量。
聲明:
“化學(xué)成份檢測微納光學(xué)傳感器及其制作與檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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