本發(fā)明提供了一種
電化學(xué)體系中工件的水平檢測裝置、調(diào)平裝置及調(diào)平方法。該水平檢測裝置包括:宏微位移平臺;位移臺,固設(shè)于宏微位移平臺確定的X-Y平面上,可在該X-Y平面上進行位移,電解池與該位移臺相對靜止;探針電極,固設(shè)于宏微位移平臺確定的Z方向上,其檢測端浸入垂直向下進入電解池內(nèi)的電解液中,距離電解池內(nèi)的工件預(yù)設(shè)距離;以及電化學(xué)工作站,其工作電極連接至探針電極,其輔助電極和參比電極均連接浸入電解池內(nèi)的電解液中,控制工作電極電位恒定,檢測該工作電極隨位移臺的運動而變化的電流信號,獲得電流信號曲線,由電流信號曲線的起伏幅度獲知電解池內(nèi)工件的傾斜程度。本發(fā)明可提高電解液中工件水平檢測的精度。
聲明:
“電化學(xué)體系中工件的水平檢測裝置、調(diào)平裝置及調(diào)平方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)