本發(fā)明提供了一種測(cè)量化學(xué)氣相沉積爐的原料蒸發(fā)量的裝置,包括,浮力裝置、軸絲、卷繞裝置和可實(shí)時(shí)顯示的計(jì)量器組成;所述浮力裝置置于化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)的固體原料頂部,所述浮力裝置與所述軸絲的一端相連接;所述軸絲的另一端與所述卷繞裝置相連接,所述卷繞裝置固定在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)的固體原料上方;所述卷繞裝置的軸心與所述可實(shí)時(shí)顯示的計(jì)量器相連接。本發(fā)明提供的測(cè)量裝置能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和控制原料的蒸發(fā)量,具有較高的精確度。尤其是在高溫、真空等密閉條件下,本發(fā)明采用軸絲式測(cè)量,減小了溫度對(duì)部件熱膨脹的影響,而且本發(fā)明的連接方式,在實(shí)際的使用過(guò)程中具有較好的安全性,也不會(huì)影響化學(xué)氣相沉積爐對(duì)高氣密性的要求。
聲明:
“測(cè)量化學(xué)氣相沉積爐原料蒸發(fā)量的裝置和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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