本發(fā)明公開(kāi)了一種多功能SF6氣體中分解產(chǎn)物各組分的綜合分析儀,包括進(jìn)氣及過(guò)濾組件、氣體分路計(jì)量組件、光譜組件、
電化學(xué)組件、冷鏡微水組件、數(shù)據(jù)處理組件和總數(shù)據(jù)輸出組件,待測(cè)氣體通過(guò)進(jìn)氣管路連接進(jìn)氣及過(guò)濾組件,進(jìn)氣及過(guò)濾組件連接氣體分路計(jì)量組件,氣體分路計(jì)量組件分別連接光譜組件和冷鏡微水組件,光譜組件連接電化學(xué)組件,電化學(xué)組件和冷鏡微水組件一起電連接于數(shù)據(jù)處理組件,數(shù)據(jù)處理組件電連接于總數(shù)據(jù)輸出組件。本發(fā)明采用紅外吸收光譜技術(shù)和紫外吸收光譜技術(shù),結(jié)合電化學(xué)傳感器技術(shù),來(lái)檢測(cè)SF6氣體內(nèi)微量的CF4氣體組分含量和其余分解產(chǎn)物組分含量,實(shí)現(xiàn)對(duì)SF6氣體分解產(chǎn)物組分精確檢測(cè)的目的。
聲明:
“多功能SF6氣體中分解產(chǎn)物各組分的綜合分析儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)