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用于檢測半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測系統(tǒng)

695   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:56:04
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體行業(yè)中SO2濃度的檢測的領(lǐng)域,公開一種用于檢測半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測系統(tǒng),包括:用于收集取樣點(diǎn)的待檢測氣體的收集袋;設(shè)置在收集袋內(nèi)的四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器;用于對四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器采集到的氣體濃度檢測值進(jìn)行處理的處理器。這里通過將待檢測氣體收集至收集袋中,并通過四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器對待檢測氣體的濃度進(jìn)行檢測,四電極電化學(xué)二氧化硫傳感器檢測精度高,并且為了進(jìn)一步提高檢測精度,這里對待檢測氣體進(jìn)行多次檢測,并將獲取的待檢測氣體的檢測值通過處理器經(jīng)過一系列的計(jì)算。
聲明:
“用于檢測半導(dǎo)體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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