本發(fā)明提供一種化學(xué)機械拋光設(shè)備及其防碰撞方法,化學(xué)機械拋光設(shè)備包括:工作臺、拋光墊、第一研磨裝置、第二研磨裝置、防碰撞傳感器以及運動控制器,第一研磨裝置包括第一擺動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、第一擺臂和第一研磨頭,第一擺動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)具有第一擺動電機;第二研磨裝置包括第二擺動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、第二擺臂、第二研磨頭,第二擺動旋轉(zhuǎn)機構(gòu)具有第一擺動電機;防碰撞傳感器用于檢測第一研磨頭與第二研磨頭之間的距離;運動控制器與防碰撞傳感器通信連接,能夠在防碰撞傳感器檢測到第一研磨頭與第二研磨頭之間的距離小于等于第一預(yù)設(shè)值時,控制第一擺動電機和第二擺動電機停止運作。
聲明:
“化學(xué)機械拋光設(shè)備及其防碰撞方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)