一種集成電路
芯片制造中化學品取樣保護裝置,包括支撐框、抽氣過濾裝置、透明隔離簾和滾輪,所述支撐框為由若干根型材搭建的長方體框架結(jié)構(gòu),于所述支撐框的頂部設置抽氣過濾裝置,所述抽氣過濾裝置覆蓋由所述支撐框的型材圍成的頂面,且所述抽氣過濾裝置的進氣口朝向所述支撐框外部,所述抽氣過濾裝置的出氣口朝向所述支撐框內(nèi)部,于所述支撐框上設置豎直下垂的透明隔離簾,所述透明隔離簾覆蓋由所述支撐框的型材圍成的側(cè)面,于所述支撐框的底部設置滾輪。該取樣保護裝置將取樣的化學品與廠房內(nèi)的空氣進行隔離,保證取樣出來的化學品不被污染,以便金屬離子檢測的精準性。
聲明:
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