本發(fā)明公開了一種高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng),包括貯存罐、緩沖罐和推送系統(tǒng),所述推送系統(tǒng)包括第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng),所述第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)均與輸送總管連通,所述第一推送系統(tǒng)用于將貯存罐內(nèi)的高純化學(xué)品推送至緩沖罐內(nèi),此為填充過程;所述第二推送系統(tǒng)用于將緩沖罐內(nèi)的高純化學(xué)品推送至使用機臺,第一推送系統(tǒng)和第二推送系統(tǒng)上分別獨立設(shè)置有第一調(diào)壓閥和第二調(diào)壓閥,所述第二推送系統(tǒng)上還設(shè)有壓力傳感器和壓力監(jiān)測計。本發(fā)明高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)結(jié)構(gòu)布置合理,成本低,且有效實現(xiàn)了緩沖罐內(nèi)的填充壓力與供應(yīng)壓力的獨立穩(wěn)定可調(diào),有效保證了高純化學(xué)品的連續(xù)穩(wěn)定供應(yīng)。
聲明:
“高純化學(xué)品連續(xù)穩(wěn)定輸送系統(tǒng)及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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