本發(fā)明涉及表面處理技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種閃鋅礦結(jié)構(gòu)化合物半導(dǎo)體的各向異性化學(xué)腐蝕液及其腐蝕方法。本發(fā)明所提供的腐蝕液包括氫氟酸、雙氧水和去離子水,當(dāng)氫氟酸采用體積百分?jǐn)?shù)為40%的氫氟酸溶液、雙氧水采用質(zhì)量百分?jǐn)?shù)為30%的雙氧水溶液時(shí),所述氫氟酸溶液、雙氧水溶液和去離子水的體積比為(1.5~3):(1~2):1。該化學(xué)腐蝕液可以在閃鋅礦結(jié)構(gòu)化合物半導(dǎo)體的表面形成具有陷光作用的微納結(jié)構(gòu),進(jìn)而提高探測(cè)器的光耦合效率。本發(fā)明還提供閃鋅礦結(jié)構(gòu)化合物半導(dǎo)體的化學(xué)腐蝕方法,其可以快速而均勻地進(jìn)行晶體減薄,并且減薄過程幾乎不會(huì)導(dǎo)致晶體破碎,并最終可以提高襯底的光透過率,提高器件的光耦合效率,降低成本和時(shí)間。
聲明:
“閃鋅礦結(jié)構(gòu)化合物半導(dǎo)體的化學(xué)腐蝕液及其腐蝕方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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