一種基板電鍍處理器,該基板電鍍處理器具有在支撐結(jié)構(gòu)上的容器和相對(duì)于該支撐結(jié)構(gòu)而固定定位的頭部支座。具有轉(zhuǎn)子的頭部裝設(shè)至該頭部支座上。與該頭部支座相關(guān)聯(lián)的舉升器使該頭部移動(dòng)而與該容器接合或脫離。可裝設(shè)至該轉(zhuǎn)子的對(duì)準(zhǔn)組件,該對(duì)準(zhǔn)組件具有至少一個(gè)傳感器,該傳感器用以在該頭部接合于該容器時(shí)檢測(cè)該容器的內(nèi)部表面的一位置。該傳感器可為定位以接觸該容器的該內(nèi)部表面的物理接觸傳感器。
聲明:
“電化學(xué)處理器對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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