本發(fā)明公開了一種植入式神經(jīng)信息雙模檢測微電極陣列
芯片及制備方法,涉及傳感器技術(shù)。該芯片包括硅針基底、呈陣列排布的多個微電極、對電極、
電化學(xué)參比電極、電生理參比電極、引線、焊盤以及絕緣層。芯片采用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝加工制備。硅針前端部分可植入動物體內(nèi)的神經(jīng)組織,用于同時檢測神經(jīng)電生理信號和神經(jīng)遞質(zhì)電化學(xué)信號,并兼有對神經(jīng)組織施加電刺激的功能。本發(fā)明芯片功能集成化,適合急性或長期植入動物體內(nèi),開展神經(jīng)信息的原位、同步雙模檢測及相關(guān)研究。
聲明:
“植入式神經(jīng)信息雙模檢測微電極陣列芯片及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)