本發(fā)明涉及一種光傳感技術(shù),其用于利用布里淵散射現(xiàn)象,對(duì)存在于微細(xì)構(gòu)造物上或微細(xì)構(gòu)造物中的對(duì)象物的物理量進(jìn)行測(cè)定及控制。在該測(cè)定方法中,在微型化學(xué)
芯片或IC芯片等元件上或元件中一維至三維地設(shè)置光波導(dǎo)路,基于該光波導(dǎo)路中產(chǎn)生的布里淵散射光的特性變化,測(cè)定對(duì)象物的物理量。
聲明:
“對(duì)象物的物理量測(cè)定方法及控制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)