本公開提供了一種日盲光電探測器的制備方法,包括:S1,以氬氣為載氣,三乙基鎵和氧氣為反應前驅(qū)物,在襯底上生長氧化鎵,以得到第一相混合第二相的初級氧化鎵晶片;S2,在所述初級氧化鎵晶片上旋涂紫外光刻膠,并在所述旋涂紫外光刻膠初級氧化鎵晶片上刻蝕出電極區(qū)域;S3,在所述電極區(qū)域生長金屬電極;S4,去除所述紫外光刻膠。另一方本公開提供了一種日盲光電探測器。本申請中的日盲光電探測器采用混合相氧化鎵為主要組成部分,該混合相氧化鎵具有低暗流,高響應度等優(yōu)點。另,使用金屬有機物化學氣相沉積法制備氧化鎵外延層,這種方法具有可大規(guī)模生產(chǎn)、對產(chǎn)物質(zhì)量的調(diào)控能力強等優(yōu)點。
聲明:
“日盲光電探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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