一種CVD方法制備ZnSe過程中的尾氣自動控制系統(tǒng),它包括化學(xué)氣相沉積爐,該化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)設(shè)有鋅坩堝和尾氣管道,該化學(xué)氣相沉積爐設(shè)有溫度控制器,該尾氣管道內(nèi)設(shè)有硒化氫
檢測儀;該硒化氫檢測儀與數(shù)據(jù)處理裝置電性連接;該數(shù)據(jù)處理裝置和該溫度控制器電性連接至計算機。本實用新型CVD方法制備ZnSe過程中的尾氣自動控制系統(tǒng),可以在程序運行后對工藝過程中的各個參數(shù)做精確控制和記錄。采集數(shù)據(jù)間隔可以根據(jù)需要進行設(shè)定,對記錄的測量數(shù)據(jù)可以設(shè)置一定的保存期限,便于對工藝進行分析。
聲明:
“CVD方法制備ZnSe過程中的尾氣自動控制系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)