一種高效和高質(zhì)量的微尺度金屬電沉積方法,是為了解決基于
電化學(xué)沉積的金屬微構(gòu)件拾取過程中難以實現(xiàn)高效和高質(zhì)量的微尺度金屬電沉積問題。首先,通過受力分析,計算出能夠?qū)崿F(xiàn)基于電化學(xué)的金屬微構(gòu)件的可靠拾取所需要沉積的微尺度金屬的最小高度;然后,利用COMSOL仿真分析微尺度金屬電沉積的影響因素,得出高效、高質(zhì)量的電沉積參數(shù)范圍;其次,基于反向傳播神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(BP),建立影響因素與微尺度金屬電沉積速率之間的關(guān)系;最后,以確定的電沉積速率為目標(biāo)值,采用遺傳算法優(yōu)化了微尺度電沉積的工藝參數(shù),并通過實驗驗證,實現(xiàn)高效率和高質(zhì)量的沉積。本發(fā)明適用于微尺度金屬電沉積。
聲明:
“高效和高質(zhì)量的微尺度金屬電沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)