棱鏡耦合系統(tǒng)和方法包括使用棱鏡耦合系統(tǒng)收集化學(xué)強(qiáng)化制品的初始TM和TE模式譜,所述化學(xué)強(qiáng)化制品具有折射率分布曲線,并且所述折射率分布曲線具有近表面的尖峰區(qū)域和深區(qū)域。檢驗(yàn)初始TM和TE模式譜以觀察它們是否落在優(yōu)選測(cè)量窗口內(nèi),所述優(yōu)選測(cè)量窗口可在選定容差內(nèi)精確估算膝應(yīng)力。如果未落在優(yōu)選測(cè)量窗口內(nèi),則改變棱鏡耦合系統(tǒng)的測(cè)量配置并且收集新的TM和TE模式譜。重復(fù)該過(guò)程直到新的TM和TE模式譜落在優(yōu)選測(cè)量窗口內(nèi)。接著使用該新的TM和TE模式譜來(lái)確定膝應(yīng)力。改變測(cè)量配置可包括改變以下中的至少一項(xiàng):測(cè)量波長(zhǎng),界面流體厚度和界面流體折射率。
聲明:
“具有寬計(jì)量工藝窗口的棱鏡耦合應(yīng)力計(jì)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)