本發(fā)明涉及氣體傳感器的傳感器元件及其制造方法。說明了用于測定測量氣體的至少一種物理性能的,尤其是測量氣體中氣體成分濃度的氣體傳感器的傳感器元件,它具有至少一個(gè)帶有兩個(gè)電極(18,20)的
電化學(xué)測量單元(15,16,17)和位于它們之間的固體電解質(zhì)材料。為了避免在傳感器元件結(jié)構(gòu)較小時(shí)流出或流向至少一個(gè)測量單元(15.16)的泄漏電流,固體電解質(zhì)材料(19)電絕緣地設(shè)置在陶瓷的載體薄膜(11)里,其中載體薄膜(11)本身由電絕緣材料,如鋁氧化物組成。
聲明:
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