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使用碳化鉭包覆鉭絲為催化劑制備硅薄膜的方法

1113   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:23:04
本發(fā)明涉及一種以碳化鉭包覆鉭絲為催化劑用于熱絲化學氣相沉積制備硅薄膜的方法。將此熱絲催化劑用于硅薄膜的制備,催化劑表面的碳化鉭層得到了很好的保持,沒有觀測到硅化物的生成,即表現(xiàn)出很好的抗老化性能,具有明顯延長熱絲催化劑使用壽命的潛力。本催化劑制備方法簡單,條件易于控制,適用于熱絲化學氣相沉積制備各種晶化度的本征、摻雜及化合物硅薄膜。
聲明:
“使用碳化鉭包覆鉭絲為催化劑制備硅薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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