国产在线一区二区不卡|在线观看中文字幕一区|亚洲中文无码h在线观看|欧美 亚洲 图色 另类|免费人成视频x8x8入口|国产福利观看天堂素人约啪|人妻无码专区一专区二专区三|国产婷婷成人久久AV免费高清

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 垂直結(jié)構(gòu)LED的襯底剝離方法

垂直結(jié)構(gòu)LED的襯底剝離方法

968   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:52
本發(fā)明公開了一種垂直結(jié)構(gòu)LED的襯底剝離方法,該垂直結(jié)構(gòu)LED包括依次層疊的高摻硅層、LED芯片層和硅襯底層,該方法包括以下步驟:1)首次超聲清洗;2)研磨:使用金剛石磨盤對硅襯底層進行研磨,設(shè)置減薄量為硅襯底層總厚度的20?90%;3)再次超聲清洗;4)刻蝕:使用感應(yīng)耦合等離子體對殘余硅襯底層進行刻蝕,刻蝕腔壓力為10?3?10?5Pa,刻蝕氣體為SF6。本方法采用物理研磨與化學(xué)刻蝕相結(jié)合的方式,以去除垂直結(jié)構(gòu)LED的硅襯底,而對LED芯片層或高摻硅層幾乎沒有影響,可提高LED器件性能,可廣泛應(yīng)用于LED、LD、光電探測器、太陽能電池等領(lǐng)域。
聲明:
“垂直結(jié)構(gòu)LED的襯底剝離方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記