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預(yù)壓痕耦合拋光制備非晶合金表面微結(jié)構(gòu)的方法

966   編輯：管理員   來(lái)源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:57
本發(fā)明涉及一種預(yù)壓痕耦合拋光制備非晶合金表面微結(jié)構(gòu)的方法，屬于材料表面微結(jié)構(gòu)加工領(lǐng)域。利用壓痕測(cè)試儀器對(duì)拋光后的非晶合金表面進(jìn)行陣列壓痕試驗(yàn)，形成具有特定形狀和尺寸參數(shù)的預(yù)壓痕陣列；之后利用拋光液對(duì)含有預(yù)壓痕陣列的非晶合金表面進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光，在這個(gè)過(guò)程中，預(yù)壓痕區(qū)域會(huì)促使拋光顆粒的集聚，增強(qiáng)該區(qū)域的材料去除，從而在非晶合金表面形成具有納米尺度深度的微結(jié)構(gòu)；之后，利用丙酮對(duì)拋光后的表面進(jìn)行清洗，即可得到微結(jié)構(gòu)化的非晶合金表面。通過(guò)改變預(yù)壓痕參數(shù)和拋光過(guò)程參數(shù)?？煞奖恪⒖旖莸刂苽渚哂胁煌Y(jié)構(gòu)形狀和參數(shù)的微結(jié)構(gòu)，在微納光學(xué)、模具、微流控、生物醫(yī)學(xué)、自組裝、仿生表面科學(xué)等領(lǐng)域具有良好的應(yīng)用前景。
聲明：
“預(yù)壓痕耦合拋光制備非晶合金表面微結(jié)構(gòu)的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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