本發(fā)明涉及等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了壓力控制系統(tǒng)及控制該系統(tǒng)的壓力控制方法。其中,壓力控制系統(tǒng)包括:與真空腔體通過(guò)真空管道連接的
真空泵,真空管道上設(shè)置有電控制閥門(mén);用于測(cè)量真空腔體的真空度的真空計(jì),真空計(jì)和電控制閥門(mén)通過(guò)可編程序控制器通信連接。本發(fā)明所提供的壓力控制系統(tǒng)能夠自發(fā)調(diào)節(jié)真空腔體內(nèi)的壓力,使得氣壓保持在一定范圍內(nèi)。
聲明:
“壓力控制系統(tǒng)和壓力控制方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)