本發(fā)明涉及一種集成光信號(hào)計(jì)算裝置的制備方法,屬于光電技術(shù)領(lǐng)域。提供了使用MESA光刻、PAD光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、化學(xué)氣相沉積法等方法將發(fā)射單元、分光單元與探測(cè)單元三個(gè)模塊進(jìn)行集成,獲得高集成度的光信號(hào)計(jì)算裝置,只需要外聯(lián)電路便可啟動(dòng),可以隨意移動(dòng)。集成光信號(hào)計(jì)算裝置的制備方法有效提高光計(jì)算裝置的集成化程度以及降低制造成本,并且工藝簡(jiǎn)單有利于產(chǎn)業(yè)化。
聲明:
“集成光信號(hào)計(jì)算裝置的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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