本實用新型涉及一種半開式循環(huán)水回水集水箱,屬于化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)領(lǐng)域,裝置包括集水箱主體,集水箱主體為倒置梯形結(jié)構(gòu),集水箱主體頂部連接有回水管路,回水管路的數(shù)量為至少兩個,回水管路一端連接至集水箱主體頂部,另一端連接至沉積爐各降溫點,集水箱主體底部連接有排水管道,排水管道用于將循環(huán)水排至冷卻降溫系統(tǒng),排水管道端部設(shè)有過濾器,過濾器用于過濾掉自沉積爐內(nèi)隨循環(huán)水排除的雜質(zhì)。本申請結(jié)構(gòu)能夠集中觀察循環(huán)水出水情況,并對回水進(jìn)行一定過濾保證回水無污染,提高冷卻設(shè)備的壽命,同時監(jiān)測循環(huán)水出水溫度、流量,出現(xiàn)異常自動報警并停止加熱,確保沉積爐冷卻效果良好,同時杜絕設(shè)備損壞情況。
聲明:
“半開式循環(huán)水回水集水箱” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)