一種檢測表面與表面薄層內(nèi)缺陷的光聲光熱無損
檢測儀,主要由泵甫光源、聲光調(diào)制器、三個(gè)光束位置探測器、樣品架、探測光源、聚焦鏡、鎖定放大器、功率計(jì)和微機(jī)等所組成,泵甫光束垂直照射樣品表面,探測光束分成與樣品表面平行和成一定角度的兩束,樣品架有三個(gè)帶臺(tái)階的孔可安放光聲池和透明與非透明樣品,后面有三個(gè)光束位置探測器分別探測透射、反射和掠射光熱偏轉(zhuǎn)光束。樣品架轉(zhuǎn)動(dòng)可改換樣品以進(jìn)行不同方式的檢測。
聲明:
“檢測表面與表面薄層內(nèi)缺陷的光聲光熱無損檢測儀” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)