本申請公開了一種射頻損耗的無損檢測系統(tǒng),微波發(fā)射裝置包括依次設(shè)置的微波發(fā)射器、微波調(diào)制器以及微波聚焦器,微波發(fā)射器所射出的微波經(jīng)過微波調(diào)制器和微波聚焦器照射至樣品臺上的待檢測樣品;探測波發(fā)射裝置包括依次設(shè)置的探測波發(fā)射器、探測波調(diào)制器以及探測波聚焦器,探測波發(fā)射器所射出的探測波經(jīng)過探測波調(diào)制器和探測波聚焦器照射至待檢測樣品;探測波照射至所述待檢測樣品上所射出的光信號經(jīng)由光接收裝置轉(zhuǎn)化為電學信號,測量裝置根據(jù)電學信號對待檢測樣品進行檢測。本申請中的檢測方式具有非接觸和無損的特點,避免對壓電薄膜材料進行加工成器件后再進行射頻損耗檢測的傳統(tǒng)破壞性檢驗,降低時間和經(jīng)濟成本,提高研發(fā)生產(chǎn)效率。
聲明:
“射頻損耗的無損檢測系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)