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面向納米觀測與操作的樣品無損逼近裝置

712   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:58
一種面向納米觀測與操作的樣品無損逼近裝置,包括:初調(diào)運(yùn)動平臺,通過由步進(jìn)電機(jī)連接一維運(yùn)動平臺;精密運(yùn)動平臺,由PZT驅(qū)動器構(gòu)成,安在一維運(yùn)動平臺內(nèi);反饋控制單元,將位于樣品上方探針設(shè)在激光光路上,產(chǎn)生的反射激光至光電傳感器;驅(qū)動控制器,與光電傳感器電連接,并與步進(jìn)電機(jī)和PZT驅(qū)動器通訊;光電限位開關(guān),被固在底座側(cè)壁和一維運(yùn)動平臺上;驅(qū)動控制器以單片機(jī)為核心,與上位機(jī)通信交換系統(tǒng)狀態(tài)與控制參數(shù)信息。通過控制樣品相對于探針進(jìn)行微米級的初調(diào)運(yùn)動及納米級的精密運(yùn)動,經(jīng)檢測反射激光光斑的位置變化信號的反饋控制步驟,通過檢測樣品逼近探針產(chǎn)生原子力作用時產(chǎn)生的光電檢測信息進(jìn)行反饋控制,達(dá)到控制樣品無損逼近探針的目的。
聲明:
“面向納米觀測與操作的樣品無損逼近裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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