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面向納米觀測及納米操作無損自動逼近裝置

758   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網  
2023-03-19 08:57:58
本發(fā)明涉及基于AFM原子力掃描顯微鏡技術,公開了一種面向納米觀測及納米操作無損自動逼近裝置,本發(fā)明通過控制步進電機帶動樣品臺上升,利用激光接收器檢測信號來判斷樣品是否運動到預定位置,完成逼近初調;然后控制壓電陶瓷驅動器向上逼近,通過檢測光電傳感器來判斷樣品是否接觸探針,來完成最終逼近。本發(fā)明可以有效解決在樣品逼近過程中樣品厚度對逼近過程中的影響,減少逼近過程中對探針及樣品表面的破壞損傷。
聲明:
“面向納米觀測及納米操作無損自動逼近裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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