一種光學元件亞表面缺陷的多通道原位檢測裝置及檢測方法,用于玻璃等光學元件缺陷測試。該裝置包括由熒光共聚焦成像系統(tǒng)、熒光壽命成像系統(tǒng)、光熱吸收成像系統(tǒng)三個通道構成,可一次性實現光學元件亞表面微納缺陷幾何形態(tài)、光致熒光、光熱吸收特性的原位測試。本發(fā)明具有裝置結構緊湊、檢測通用性強、穩(wěn)定性高的特點,適用于亞表面缺陷的高靈敏度無損檢測。
聲明:
“光學元件亞表面缺陷的多通道原位檢測裝置及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯系該技術所有人。
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