本發(fā)明屬于薄膜無損檢測技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種基于表面波的薄膜粘附性檢測方法,包括:構(gòu)建表征薄膜的粘附特性的彈簧假設(shè)模型,并建立表面波質(zhì)點(diǎn)位移表達(dá)式;將建立表面波質(zhì)點(diǎn)位移表達(dá)式代入的表面波在薄膜/基底結(jié)構(gòu)中傳播的邊界條件,得到一個(gè)由6個(gè)方程組成的方程組B6×6C6×1=0;令系數(shù)矩陣B6×6的行列式為零,以KN和KT作為影響色散曲線的參量,得到表面波的色散曲線;在待測樣片表面激發(fā)表面波,在靠近其表面的兩個(gè)不同位置處采集其表面波信號,并進(jìn)行分析處理,得到表面波的實(shí)驗(yàn)色散曲線;將該曲線和前面得到的表面波色散曲線進(jìn)行匹配,得到待測樣片表面的法向彈力系數(shù)KN;根據(jù)KN大小確定薄膜與基底之間的粘附性。本發(fā)明可以無損、快速、準(zhǔn)確地檢測薄膜與基底之間粘附性。
聲明:
“基于表面波的薄膜粘附性檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)