本發(fā)明公開了一種micro LED
芯片的拉曼增強(qiáng)的檢測方法及其裝置。本發(fā)明提出的檢測方法中,將光致發(fā)光檢測和拉曼檢測結(jié)合,光致發(fā)光檢測提供發(fā)光波長和亮度信息,拉曼檢測給出電學(xué)性質(zhì),彌補(bǔ)了光致發(fā)光檢測準(zhǔn)確度不足的問題;采用電子能級共振以及表面等離激元共振增強(qiáng)拉曼技術(shù)使得拉曼散射強(qiáng)度有10
3~10
8的增強(qiáng),部分達(dá)到了光致發(fā)光的強(qiáng)度,從而為快速測量奠定基礎(chǔ);金屬納米結(jié)構(gòu)不但提高micro LED芯片的發(fā)光效率,同時也可以利用表面等離激元增強(qiáng)拉曼散射信號,提高檢測速度;顯微拉曼檢測是一種無損傷測試手段,檢測過程簡單,所需時間短,檢測速度快,且不需要對micro LED芯片進(jìn)行特別處理,適用于micro LED芯片的巨量檢測。
聲明:
“micro LED芯片的拉曼增強(qiáng)的檢測方法及其裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)