本發(fā)明公開了一種原子層沉積系統(tǒng)原位實時檢測方法及裝置,所述方法包括:在對樣片進行原子層沉積成膜時,通過反射式高能電子衍射檢測所述樣片的表面,以獲得檢測數(shù)據(jù);根據(jù)所述檢測數(shù)據(jù),獲得所述樣片的原子層沉積反應(yīng)機理信息。用以解決現(xiàn)有技術(shù)中的原子層沉積技術(shù),其反應(yīng)機理缺乏合適的原位檢測技術(shù)的技術(shù)問題。提供了一種無損的原子層沉積實時檢測方法及裝置。
聲明:
“原子層沉積系統(tǒng)原位實時檢測方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)