本實用新型涉及產(chǎn)品檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體地說是一種在線檢測硅片裝置,包括外殼、第一感應(yīng)器、第二感應(yīng)器、軌道轉(zhuǎn)換門、檢測頭、第一傳送軌道和第二傳送軌道,所述外殼設(shè)置于第一傳送軌道上,所述外殼上設(shè)有觀察門,所述檢測頭設(shè)置于外殼內(nèi)側(cè)頂部中心位置,檢測頭正對的第一傳送軌道上設(shè)有第一感應(yīng)器,所述第二傳送軌道設(shè)置于第一傳送軌道下方,且與第一傳送軌道連接處設(shè)有軌道轉(zhuǎn)換門,軌道轉(zhuǎn)換門上設(shè)有第二感應(yīng)器。本實用新型可以對硅片的完好性進(jìn)行無接觸、無損傷地檢測,將帶有裂紋的壞片自動分離出來。
聲明:
“在線檢測硅片裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)