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硬脆光學(xué)材料的低亞表面損傷檢測(cè)方法

857   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:12
本發(fā)明涉及一種硬脆光學(xué)材料的低亞表面損傷檢測(cè)方法,該方法通過(guò)測(cè)試儀器準(zhǔn)備、樣品表面損傷的檢測(cè)來(lái)獲得待測(cè)樣品的布儒斯特角,并進(jìn)一步利用該布儒斯特角表征樣品的表界面粗糙度。其中,測(cè)試儀器包括刻度盤、載物臺(tái)、激光器、第一偏振片、光強(qiáng)度計(jì)及第二偏振片,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低,利用線偏振光準(zhǔn)確地測(cè)出了入射到樣品上的光線的布儒斯特角大小,并以此表征樣品的表界面粗糙度,可將測(cè)量偏差保持在1/100以內(nèi),檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確率高,且檢測(cè)方法簡(jiǎn)單、快速,對(duì)待檢測(cè)樣品的表面無(wú)損傷;同時(shí),本發(fā)明的方法還可以用于測(cè)量光學(xué)元件其他的微表面結(jié)構(gòu),并能達(dá)到納米量級(jí)的表面微結(jié)構(gòu)的檢測(cè),為制備出高質(zhì)量的高損傷閾值薄膜提供了條件。
聲明:
“硬脆光學(xué)材料的低亞表面損傷檢測(cè)方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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