本發(fā)明涉及一種使用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)快速檢測金屬熱擴(kuò)散的方法。本發(fā)明首先使激光聚焦在待測樣品表面,樣品表面被激光燒灼產(chǎn)生等離子體,并輻射攜帶元素成分信息的光子;然后利用光譜儀實(shí)時(shí)采集特征光子;同時(shí)選定金屬與硅的特征譜線,實(shí)時(shí)檢測其強(qiáng)度以計(jì)算出金屬的含量;最后隨著激光不停的燒灼,能得到不同深度的金屬含量信息,最終記錄下金屬的深度分布數(shù)據(jù);本發(fā)明利用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)分析了鋁在硅晶片中的熱擴(kuò)散,能分辨出不同溫度下鋁在硅中的深度分布的差異,得到了具有較高的精確度的結(jié)果。與其他檢測技術(shù)相比,該技術(shù)能快速、幾乎無損地檢測金屬的熱擴(kuò)散。
聲明:
“使用激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)快速檢測金屬熱擴(kuò)散的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)