本發(fā)明提供一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法,所述方法使用透光鏡設備檢測8英寸拋光片的缺陷。本發(fā)明提供的一種用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法,利用透光鏡實現(xiàn)了無損傷地和實時地檢測大面積硅片的表面結(jié)構(gòu)性質(zhì),并總結(jié)歸納了各種硅片缺陷的不良圖譜,實現(xiàn)了對單晶硅晶圓片的質(zhì)量的在線監(jiān)控。
聲明:
“用透光鏡檢測8英寸拋光片缺陷的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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