本發(fā)明提供一種用橢偏光譜儀檢測(cè)8英寸拋光片的方法,所述方法使用橢偏光譜儀對(duì)8英寸拋光片最重要的光學(xué)參數(shù)雙折射率進(jìn)行檢測(cè)。本發(fā)明提供的一種用橢偏光譜儀檢測(cè)8英寸拋光片的方法測(cè)量精度高、無(wú)損傷測(cè)量、實(shí)時(shí)在線(xiàn)監(jiān)控、測(cè)量波段寬。
聲明:
“用橢偏光譜儀檢測(cè)8英寸拋光片的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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