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斷層攝影檢查裝置以及方法

1071   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:23
本發(fā)明公開一種能無(wú)損的檢查檢查對(duì)象的表面及內(nèi)部的斷層攝影檢查裝置及方法。所述斷層攝影檢查裝置,包括:光源,其產(chǎn)生向檢查對(duì)象的內(nèi)部照射的測(cè)量光;分束器,其將所述測(cè)量光分割為參考光和測(cè)量光,將參考光照射至參考鏡,并將測(cè)量光照射至檢查對(duì)象,使在參考鏡反射的參考反射光和在檢查對(duì)象散射以及反射的信號(hào)反射光重疊來(lái)產(chǎn)生干涉光;掃描部,其將在所述分束器分割的測(cè)量光引導(dǎo)至檢查對(duì)象的檢查位置;散射濾波器,其安裝于在檢查對(duì)象反射的反射光的路徑上,使在檢查對(duì)象反射的反射光散射,使引導(dǎo)至分束器的信號(hào)反射光的強(qiáng)度增加;以及光電檢測(cè)器,其檢測(cè)所述干涉光,以獲得檢查對(duì)象的內(nèi)部影像信號(hào)。
聲明:
“斷層攝影檢查裝置以及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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