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內(nèi)外腔表面粗糙度高精度測量光路結(jié)構(gòu)及自動化測量系統(tǒng)

639   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:26
本發(fā)明公開了一種內(nèi)外腔表面粗糙度高精度測量光路結(jié)構(gòu)及自動化測量系統(tǒng)，該測量結(jié)構(gòu)及自動化測量系統(tǒng)的關(guān)鍵部件為無損光路測量結(jié)構(gòu)，主要包括集成光路和潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路，集成光路包括白光光源、第一分束鏡和相機(jī)，第一分束鏡將一部分光出射至潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路內(nèi)，潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路內(nèi)設(shè)有若干平面反射鏡將分束鏡出射的光反射至潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路的末端，潛望鏡式轉(zhuǎn)折光路的末端連接有Mirau干涉物鏡，用于將光束出射到待測的部件內(nèi)外腔上；相機(jī)設(shè)置在分束鏡的反射光路上，部件內(nèi)外腔表面反射的測量光與Mirau干涉物鏡中的參考光發(fā)生干涉，干涉圖像由相機(jī)拍攝獲取。本發(fā)明的無損光路測量結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)不同長徑比的部件內(nèi)外腔的高精度測量。
聲明：
“內(nèi)外腔表面粗糙度高精度測量光路結(jié)構(gòu)及自動化測量系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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