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多焦全息差動(dòng)共焦超大曲率半徑測量方法與裝置

892   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:32
本發(fā)明屬于光學(xué)精密測量技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種多焦全息差動(dòng)共焦超大曲率半徑測量方法與裝置。該方法首先利用差動(dòng)共焦系統(tǒng)對(duì)多焦全息透鏡的長焦距值進(jìn)行校準(zhǔn),減小測量的系統(tǒng)誤差,然后利用差動(dòng)共焦定焦原理對(duì)被測件的貓眼位置和共焦位置實(shí)現(xiàn)非接觸高精度定位,繼而利用幾何光學(xué)原理可以實(shí)現(xiàn)超大曲率半徑的高精度測量。該裝置包括點(diǎn)光源、第一分光鏡、準(zhǔn)直物鏡、多焦全息透鏡、差動(dòng)共焦系統(tǒng)、調(diào)整架、測長系統(tǒng)和移動(dòng)導(dǎo)軌。本發(fā)明首次將差動(dòng)共焦高精度定焦原理與多焦全息透鏡壓縮光路原理相融合,具有被測件移動(dòng)距離小、測量精度高、測量速度快、抗環(huán)境干擾能力強(qiáng)、對(duì)被測表面無損傷等優(yōu)點(diǎn),可用于超大曲率半徑的高精度非接觸測量。
聲明:
“多焦全息差動(dòng)共焦超大曲率半徑測量方法與裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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