本發(fā)明公開了應(yīng)用于掃描探針顯微鏡的擺動式多模式組合探針測試裝置,包括腔體上蓋、組合探針切換機(jī)構(gòu)和組合探針,利用該裝置在真空或氣氛環(huán)境下實現(xiàn)多模式組合探針原位高效切換時,首先將該裝置安裝在掃描探針顯微鏡上,設(shè)置真空或氣氛環(huán)境,然后組合探針切換機(jī)構(gòu)擺動,驅(qū)動組合探針依次到目標(biāo)位置,對樣品進(jìn)行多模式原位測試,該裝置解決了現(xiàn)有掃描探針顯微鏡的不足,避免切換探針時破壞實驗環(huán)境,支持多模式原位測試,通過電磁測試模式測試或改變樣品表面電磁類物理量,通過輕敲模式無損測量樣品表面形貌,尤其適用于軟樣品,通過摩擦力模式測試樣品表面摩擦磨損,采用擺動式設(shè)計,減小裝置體積,節(jié)約腔體空間,增加裝置通用性。
聲明:
“應(yīng)用于掃描探針顯微鏡的擺動式多模式組合探針測試裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)