本發(fā)明公開(kāi)了一種基于掃描電子顯微鏡測(cè)量側(cè)壁傾斜角的方法,屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。所述方法包括:將電子束沿豎直方向傾斜第一角度入射溝道,通過(guò)掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第一圖片,分析第一圖片得到第一角度與預(yù)測(cè)量的側(cè)壁傾斜角之間的第一關(guān)系表達(dá)式;將電子束沿豎直方向傾斜第二角度入射溝道,第二角度與第一角度不等,通過(guò)掃描電子顯微鏡拍攝溝道圖片得到第二圖片,分析第二圖片得到第二角度與預(yù)測(cè)量的側(cè)壁傾斜角之間的第二關(guān)系表達(dá)式;根據(jù)第一關(guān)系表達(dá)式和第二關(guān)系表達(dá)式推算出預(yù)測(cè)量的側(cè)壁傾斜角的大小。本發(fā)明中,不僅實(shí)現(xiàn)了側(cè)壁傾斜角快速的在線無(wú)損測(cè)量,而且能夠節(jié)約時(shí)間和成本,縮短研發(fā)周期,從而滿(mǎn)足大規(guī)模的生產(chǎn)要求。
聲明:
“基于掃描電子顯微鏡測(cè)量側(cè)壁傾斜角的方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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