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用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法及裝置

832   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:58:38
本發(fā)明涉及用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法。提供了一種用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法,該方法包括:獲取MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù);獲取MEMS微梁的吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù);根據(jù)MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)、吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù),確定MEMS微梁的厚度。MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)包括MEMS微梁的長度、寬度和高度,高度為MEMS微梁的上表面與位于MEMS微梁下方的底部電極的上表面之間的距離。上述用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法,由于根據(jù)MEMS微梁的結(jié)構(gòu)參數(shù)、吸合電壓、固有頻率和振型函數(shù),確定所述MEMS微梁的厚度,因此能夠?qū)崿F(xiàn)微梁厚度的高精度無損在線測(cè)量,這對(duì)快速準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)MEMS器件的性能至關(guān)重要。
聲明:
“用于原位測(cè)量MEMS微梁的厚度的方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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