本發(fā)明提供的是一種用于微機(jī)電系統(tǒng)監(jiān)測(cè)的光纖探針。其特征是:它由單模光纖1,大芯徑漸變折射率光纖2,二元菲涅爾透鏡3,待測(cè)物4,位移臺(tái)5,光源6,三端口環(huán)形器7,光功率計(jì)8,計(jì)算機(jī)9組成。本發(fā)明可用于微機(jī)電系統(tǒng)的便攜、非接觸式無(wú)損監(jiān)測(cè),可廣泛用于光纖傳感等領(lǐng)域。
聲明:
“用于微機(jī)電系統(tǒng)監(jiān)測(cè)的光纖探針” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)